עדשות F-Theta משמשות בדרך כלל בשילוב עם מראות סריקה גלוונומטריות במערכות חריטה, חיתוך וסימון בלייזר. בדרך כלל עיוות ה-F-Theta של העדשה נשמר פחות מ-1% כך שהיא מסוגלת לייצר נקודה מדויקת בשדה השטוח במישור התמונה.
סובלנות קוטר: +0/-0.13 מ"מ
סובלנות עובי: ±0.25 מ"מ
סובלנות אורך מוקד: ±2%
שינוי עובי קצה (ETV): ≤3 קשתות לפחות.
צמצם ברור: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
איכות פני השטח: 40-20 סטיית תקן
ציפוי AR: R<0.2% לכל משטח @10.6μ